Uutta tietoa huipputeknologiasta ja sen hyödyntämisestä, tietoa tulevaisuuden ratkaisuista ja palveluista päätöksenteon tueksi ja liiketoiminnan kehittämiseen. Kohdistettu VTT:n kumppaneille, asiakkaille sekä huipputeknologiasta ja sen sovelluksista kiinnostuneille.
Julkaisu tieteestä, teknologiasta ja liiketoiminnasta

​​Kuva 1. Säädettävän MOEMS FPI -suotimen toimintaperiaate ja läpileikkaus (a) sekä kuva näkyvän aaltoalueen FPI-sirusta, jonka optisen aukon lepoaallonpituus on sinisellä alueella (~430 nm) (b).

VTT hyödyntää Fabry-Perot interferometriteknologiaa

Anna Rissanen, Heikki Saari | 8.5.2014

​Fabry-Perot-interferometrit (FPI) ovat säädettäviä optisia suotimia, jotka mahdollistavat spektrometrien miniatyrisoinnin käsikäyttöisiksi antureiksi. Näitä mikrospektrometrejä voidaan hyödyntää monenlaisissa sovelluksissa. 

FPI-suodinrakenteita voidaan valmistaa eri aallonpituuksille aina UV-valosta termiseen infrapuna-alueeseen asti käyttäen sekä MEMS:in perustuvia massatuotannollisia valmistusmenetelmiä että pienen ja keskisuuren tuotantovolyymin mahdollistavia pietsosähköisiä aktuaattoreita hyödyntäviä suodinrakenteita. Käyttämämme teknologia on tehokasta, pientä ja sarjavalmistukseen sopivaa, ja se mahdollistaa korkealaatuisten mittausten tekemisen kustannustehokkaasti. 


 

FPI-teknologia

Optinen spektroskopia on houkutteleva mittausmenetelmä moniin käyttötarkoituksiin. Sen avulla voi tunnistaa ja erotella selektiivisesti materiaaleja, kaasuja tai muita aineita niille ominaisten spektrisormenjälkien perusteella.  Fabry–Perot-interferometrit toimivat aktiivisina, säädettävinä aallonpituussuotimina pienissä, tehokkaissa ja kevyissä mikrospektrometreissä ja kameroissa. Näitä suotimia voi yhdistää erityyppisiin detektoreihin ja optisiin valonlähteisiin spektroskooppisessa analyysissä tarvittavien optisten sensorien ja instrumenttien toteuttamiseksi; sovelluksia on aina kaasusensoreista kannettaviin, spektriä kuvantaviin instrumentteihin.

Fabry–Perot-interferometri koostuu kahdesta heijastavasta pinnasta, jotka tyypillisesti ovat ohutkalvotekniikalla valmistettuja Bragg-peilejä, peilien välissä olevasta ilmaraosta sekä peilirakenteeseen integroiduista elektrodeista. Suotimen päästökaistan aallonpituutta säädetään muuttamalla peilien välistä etäisyyttä. Oheisessa kuvassa esitetään Fabry–Perot-interferometrin (FPI) toimintaperiaate sekä valmis optinen MEMS eli MOEMS FPI-siru, jonka lepoaallonpituus ilman käyttöjännitettä on 430 nm jolloin sen lävitse näkyvä väri on sininen.

Käyttämämme FPI-teknologian voi jakaa kahteen osa-alueeseen käytetyn valmistustavan mukaisesti: optiseen MEMS-teknologiaan pohjautuvat sirut (MOEMS FPI) sekä erikseen koottavat, säädettäviä pietsosähköisiä aktuaattoreita hyödyntävät suodinrakenteet (Pietso-FPI), kuvassa 2. Näiden kahden teknologia-alustan avulla olemme voineet kehittää mittausratkaisuja sekä massatuotettaviin MOEMS-sovelluksiin että räätälöityihin korkealaatuisiin optisiin PFPI-instrumentteihin. 

Yksittäisten FPI-sirujen kustannukset voivat jäädä varsin pieniksi, kun niitä valmistetaan suuria määriä MEMS-tuotantomenetelmien avulla. Näin spektriantureille voidaan keksiä uusia käyttötarkoituksia, joihin nykyisiä pöytäspektrometrejä ei ole toistaiseksi voitu soveltaa niiden korkean hinnan ja suuren koon vuoksi. 

Muihin mikrospektrometriteknologioihin verrattuna VTT:n FPI-tekniikan ainutlaatuisiin piirteisiin kuuluu optisten apertuurien suuri koko. Mikäli apertuuri on tarpeeksi iso, tyypillisesti optisen suotimen takana käytettävän pistemäisen detektorin voi korvata kuvadetektoreilla, jolloin spektroskopia ja kuvantaminen voidaan yhdistää ja näin luoda pieniä hyperspektrikameroita. Pietsoaktuaatiota hyödyntävä FPI-teknologia on osoittautunut erityisen soveliaaksi hyperspektrikuvantamiseen, koska se mahdollistaa suuren optisen apertuurin ja lisäksi teknologia soveltuu pienemmillä kehityskustannuksilla räätälöitäväksi suoritusvaatimusten mukaisesti vaativiinkin sovelluksiin, kuten miehittämättömiin lennokkeihin, avaruustutkimukseen, prosessiteollisuuteen, turva- ja puolustusalalle sekä lääketieteellisiin sovelluksiin.  Sen lisäksi, että suuri optinen apertuuri mahdollistaa lukuisia käyttötarkoituksia sekä pistemäiseen spektroskopiaan että spektrikuvantamiseen perustuen, sen tarjoamiin etuihin kuuluu myös optisten antureiden edullisempi hinta.  Esimerkiksi hilaspektrometreissä käytettävät rividetektorit ovat etenkin infrapuna-alueessa kalliita niiden tarvitseman jäähdytyksen takia, kun taas FPI-teknologialla toteutettu spektrometri tarvitsee rividetektorin sijaan vain yhden detektorin luoden näin useiden tuhansien eurojen eron laitteen lopulliseen hintaan.

impulssi-pakatut-mikrospektrometrit-kuva2.jpg
 

Kuva 2. Pakatut mikrospektrometrit: massatuotantoon soveltuva MOEMS-moduuli (a) ja pietsosähköinen FPI-moduuli pienen ja keskisuuren volyymin tuotantoon (b). ​​

Mikrospektrometriteknologiaa massavalmistettaviin sovelluksiin

Viime vuosina VTT on kehittänyt aktiivisesti sekä sovelluspohjaisia mittausinstrumentoinnin ratkaisuja että tutkimukseen painottuvaa optisen MEMS (MOEMS) -teknologian massavalmistusmenetelmiä ja prosessi-integraatiota.  Kullakin kaasulla, nesteellä ja aineella on oma yksilöllinen spektrisormenjälkensä, joka sijoittuu tietyille aallonpituusalueille. Niinpä eri aallonpituuksille soveltuvia optisia MEMS-rakenteita kehittämällä voidaan valmistaa erilaisten aineiden havaitsemiseen kykeneviä antureita. Prosessi-integraatioteknologian kehittäminen mahdollistaa optisten suodatinrakenteiden räätälöimisen eri sovellusten vaatimuksiin. Kun valmistusprosessissa käytettävät ohutkalvomateriaalit, erilaiset prosessivaiheet sekä olosuhteet valikoidaan ja kehitetään huolellisesti, on mahdollista rakentaa erityyppisiä MOEMS FPI -rakenteita. 

VTT:n työ optisten massavalmistettavien Fabry–Perot-interferometrien parissa alkoi 1990-luvulla Vaisalan keski-infrapuna-alueen (MIR) [1] Carbocap®-hiilidioksidianturin kehittämisen myötä. Lähi-infrapunaspektroskopiaa (NIR) ja infrapunaspektrin molekulaarista absorptiota on käytetty laajalti aineiden tunnistamiseen niille ominaisen optisen sormenjäljen perusteella. Sen pohjalta on myös kehitetty NDIR-teknologiaan perustuvia sensoreita. Ne koostuvat valonlähteestä, absorptiopolusta, selektiivisestä aallonpituussuotimesta sekä detektorista. MOEMS FPI -moduulit mahdollistavat edullisten, stabiilien NIR-mikrospektrometrien sekä NDIR-sensorien toteuttamisen yksikanavaisena, jonka avulla voidaan mitata useita eri aallonpituuksia käyttäen vain yhtä detektoria ja valonlähdettä. Useamman eri detektorin käyttöön verrattuna tämän ratkaisun etuihin kuuluvat erinomainen pitkän aikavälin vakaus ja korkea erottelutarkkuus. Viime vuosina mikrospektrometreille on ilmaantunut potentiaalisia uusia kasvualueita. Tämän vuoksi MOEMS FPI-ratkaisujen kehittämistä eri aallonpituusalueisiin on painotettu viime vuosina, jotta teknologiaa voidaan hyödyntää monipuolisesti eri sovelluksissa aina näkyvästä UV-valosta termiseen infrapunaan (Kuva 3). 

Vuonna 2008 VTT alkoi kehittää uudenlaista NIR-mikrospektrometriprosessialustaa autoteollisuuden mittauksissa käytettävää anturia varten [2]. Teknologian tärkeä kilpailuetu on sen monoliittinen rakenne sekä peilien muodostuminen jännittyneistä ohutkalvoista – näin rakenne pystyy kestämään jopa 18 000 G:n iskuja ilman hajoamista [3], eikä se myöskään ole herkkä tärinälle, mikä voi vääristää optisia mittauksia. Tämä erinomainen kestävyys antaa VTT:n MOEMS NIR -mikrospektrometriteknogialle selkeän edun kilpaileviin kaupallisiin miniatyrisoituihin spektrometriratkaisuihin nähden [4]. Kestävyys on erityisen tärkeä piirre tärähtelylle ja liikkeelle altistuvissa ratkaisuissa, kuten autoteollisuuteen, mobiililaitteisiin sekä käsikäyttöisiin mittauksiin tarkoitetuissa antureissa, joissa toimintavaatimukset ovat erityisen
tiukat.

impulssi-moems-fpi-rakennealustat-kuva3.jpg
 

Kuva 3. VTT:n kehittämät MOEMS FPI -rakennealustat ja niiden soveltuvuusalueet näkyvästä valosta lähi- ja keski-IR-alueen kautta termiseen infrapunaan. 


 

Näkyville aallonpituusalueille suunnitelluissa antureissa ohutkalvojen paksuus FPI:n peileissä pienenee merkittävästi, sillä optisen paksuuden on oltava neljännes anturin suunnitellusta keskiaallonpituudesta (λ/4).  Tämä asettaa erityisvaatimuksia käytettäville ohutkalvomateriaaleille erityisesti kalvon paksuudensäätökyvyn, tasaisuuden sekä peittävyyden osalta.  Uuden ALD-tekniikan (ALD = atomic layer deposition) avulla VTT kehitti ensimmäiset näkyvän aallonpituusalueen Fabry–Perot-interferometrit vuonna 2010, joissa resoluutio parani huomattavasti verrattuna aiempiin tähän aallonpituusalueeseen suunniteltuihin FPI-rakenteisiin verrattuna [5]. Vaikka näkyvälle aallon­pituusalueelle on tarjolla hilaspektrometrejä, nämä eivät sovellu kuvantamissovelluksiin eikä niiden valmistusprosessi ole monoliittinen. Muita parannuksia olivat optisen apertuurin kasvanut koko [6], joka mahdollisti käsikäyttöisten spektrikameroiden rakentamisen (Kuva 4) [7], sekä monoliittisesti integroidun siruspektrometrin demonstrointi [8]. 

Viimeisten kahden vuoden aikana optisten MEMS-ratkaisujen kehityksessä on keskitytty pidempiaaltoisen termisen infrapuna-alueen kattamiseen, jossa löytyy sovelluksia muun muassa erilaisten kaasujen analysoimisen osalta sekä uudenlaisten spektrikuvantamiseen perustuvien ratkaisujen kehittämisessä. Tässä alueessa haasteena on suuremman optisen kontrastin saavuttaminen ohutkalvomateriaalien välillä paremman resoluution aikaansaamiseksi. Olemme demonstroineet ainutlaatuisen FPI-rakenteen, jossa peilit koostuvat piistä ja ilmasta, tarjoten näin sekä laajan toiminta-alueen että merkittäviä parannuksia muihin tämän aallonpituusalueen säädettäviin suotimiin nähden [10, 11]. Kyseisestä FPI-rakenteesta kirjoitettu artikkeli nimettiin Journal of Micromechanics and Microengineering -lehden vuoden 2012 kohokohdaksi.

Olemme hiljattain demonstroineet myös ensimmäiset FPI-sirut näkyvän- ja NIR-allonpituusalueen (LNIR) välille [11]. Yksi tämän aallonpituusalueen eduista on piihin perustuvien detektoreiden käytön mahdollisuus, mikä tarjoaa herkän ja kustannustehokkaan vaihtoehdon termopari- ja InGaAs-detektoreihin verrattuna. Käsikäyttöiset miniatyyrihyperspektrikamerat, jotka toimivat alemmalla NIR-alueella, voivat luoda potentiaalisia mahdollisuuksia monien uudentyyppisten terveysalan sovellusten kehittämiseen, kuten ihosyövän detektointiin, endoskopiaan, kudosten happisaturaation (diabetes) mittaamiseen sekä esimerkiksi hampaiden, ihon ja verisuonten analysointiin.


 

impulssi-kasikayttoinen-hyperspektrikamera-kuva4.jpg
 

Kuva 4. Käsikäyttöinen hyperspektrikamera.

impulssi-hiilivetyanalysaattori-kuva5.jpg
 

Kuva 5. Hiilivetyanalysaattori.

Instrumentteja monenlaisiin käyttötarkoituksiin

Tavoitteenamme on viime vuosina ollut tuoda esiin FPI-teknologian hyötyjä toteuttamalla demonstraattoreita sekä instrumentteja erilaisiin käyttötarkoituksiin. MOEMS-mikrospektrometrejä on sovellettu kompakteihin hiilivetyanalysaattoreihin [12] (kuva 5) sekä kaasujen (esimerkiksi asetonin) mittaamiseen termisellä infrapuna-alueella [13]. Uusinta teknologiaamme kaasuanalysaattoreiden osalta edustaa erittäin herkkä ja laaja-apertuurinen pietsosähköinen FPI-alusta MIR-alueelle. Ensimmäinen demonstraattori toimii aallonpituudella
4–5 µm, ja toinen demoalusta on korrelaatiospektroskopiaa varten, jossa interferometri antaa kampamaisen transmissiokuvion aallonpituusalueella 4,7–4,8 µm.

Hyperspektrikameroissa yhdistyy kaksi merkittävää analyysimenetelmää: tilan hahmottaminen ja spektri-informaatio. Nykyisin markkinoilla olevat hyperspektrikamerat ovat yleensä erittäin kalliita, usein hinnaltaan yli 50 000–100 000 dollaria. VTT:n hyperspektrikamerat ovat pieniä, käsikäyttöisiä ja huomattavasti edullisempia, etenkin silloin, jos niitä voidaan valmistaa sarjatuotantona. Tämä koko- ja hintaluokka luo uusia mahdollisuuksia löytää teknologialle uusia käyttötarkoituksia. VTT:n hyperspektrikamerat ovat jo löytäneet tiensä monenlaisiin sovelluksiin, kuten maa- ja metsätaloudessa sekä ympäristömittauksissa käytettyihin lennokkeihin [15, 16], Aalto-1 nanosatelliittiohjelmaan [17], rikospaikka­tutkimukseen [18] sekä kemialliseen kuvantamiseen teollisuudessa. Lääketieteen sovellukset tarjoavat erityisen mielenkiintoisia käyttökohteita spektrikameroille: lupaavia tuloksia on jo saavutettu muun muassa silmänpohjakameran käytöstä glaukooman ja diabeteksen toteamiseen [19] sekä hyperspektrikameran käytöstä ihosyövän havaitsemiseen [20]. VTT on kehittänyt myös aiemmin toteuttamattomia UV-alueen FPI-ratkaisuja, joiden spektrin erottelukyky riittää erittäin pienten ainejälkien havaitsemiseen.  Ruotsalainen puolustusalan tutkimuslaitos Totalförsvarets forskningsinstitut (FOI) on yhdessä VTT:n kanssa kehittänyt UV-aallonpituusalueella toimivan järjestelmän, joka pystyy erottelemaan tarkasti Raman-siirtymiä. Kyseiselle aallonpituusalueelle ei ole saatavissa vastaavia kaupallisia järjestelmiä [21]. Kuvassa 6 esitetty järjestelmä perustuu VTT:n kehittämään kompaktiin korkean resoluution (~0,2 nm @ FWHM) UV-FPI-suotimeen. UV-FPI-moduulin stabiili toiminta vaihtelevissa ympäristöolosuhteissa on saatu aikaan kontrolloimalla moduulin lämpötilaa ja käyttämällä FPI-moduulin ilmaraon takaisinkytkettyä säätöä kapasitiivisen mittauksen avulla.

impulssi-UV-FPI-raman-kuvantamisjärjestelmä-kuva6.jpg
 

Kuva 6. UV-FPI Raman-kuvantamisjärjestelmä.

Tulevaisuuden teknologialiiketoimintaa

Perimmäinen tavoitteemme on luoda FPI-teknologiaan perustuvaa liiketoimintaa ja rakentaa kansainvälisiä arvoketjuja, jotka hyödyttävät suomalaista teollisuutta. Jotta Suomeen saataisiin myös kasvavaa liiketoimintaa ja uusia työpaikkoja, VTT:n spin off -yritys Spectral Engines aloittaa toimintansa keväällä 2014. Se tarjoaa NIR- ja MIR-alueen spektriantureita teollisten prosessien hallintaan, kaasujen mittaamiseen ja kannettaviin kenttäanalysaattoreihin.  Suunnitteilla on myös projekti suomalaisten teollisuusalan kumppaneiden kanssa NIR FPI -elementtien sarjatuotannon kasvattamiseksi autoteollisuuden sovellusten vaatimaan suureen tuotantovolyymiin. Spektrometrien miniatyrisointi luo potentiaalia toteuttaa ratkaisuja niin vaativiin avaruustutkimuksen ja lääketieteen sovelluksiin kuin massavalmistettaviin terveys- ja hyvinvointituotteisiin tai älykkäämpiin mobiililaitteisiin. Ehkäpä tulevaisuudessa seuraava uusi, merkittävä liiketoimintamahdollisuus syntyy kuluttajasovelluksiin toteutetuista spektrikameroista.


 

impulssi-saari-heikki.jpgHeikki Saari

Heikki Saari valmitui diplomi-insinööriksi Teknillisen korkeakoulun teknillisen fysiikan osastolta vuonna 1980 ja väitteli samasta yliopistosta tohtoriksi vuonna 1996. Hän on johtanut useita avaruus- ja kaukokartoitusintrumenttien kehitysprojekteja. 

Hänellä on yli 60 tieteellistä julkaisua sekä kuusi patenttia. Saaren tutkimuskiinnostuksen kohteisiin kuuluvat hyperspektrikamerateknologia ja -sovellukset, MOEMS -anturisovellukset ja lennokki- ja nanosatelliittispektrikamerateknologia. Tällä hetkellä Saari toimii johtavana tutkijana MOEMS ja BioMEMS Instrumentit -tiimissä VTT:llä.


 

impulssi-rissanen-anna.jpgAnna Rissa​nen

Anna Rissanen toimii tiimipäällikkönä MOEMS ja BioMEMS Instrumentit -tiimissä VTT:llä. Hän valmistui vuonna 2003 diplomi-insinööriksi Teknillisen korkeakoulun sähkötekniikan osastolta ja väitteli tohtoriksi Aalto yliopistolta vuonna 2012 pääaineenaan biomikrosysteemit. Hänen tutkimustyönsä kohteena on optisten MEMS Fabry-Perot interferometri-rakenteiden suunnittelu ja prosessi-integraation kehitys sekä poikkitieteellinen tutkimus. Rissasella on yli 22 tieteellistä julkaisua sekä patentoitavia keksintöjä.  


 

 

Lähteet
[1] Blomberg, M., Torkkeli, A., Lehto, A., Helenelund, C., Viitasalo, M., “Electrically tuneable micromachined fabry-perot interferometer in gas analysis”, Physica Scripta. Vol. T69, 119 – 121, (1997).​

 
[2] Antila J., Miranto, A., Mäkynen, J., Laamanen, M., Rissanen, A., Blomberg, M., Saari, H., Malinen, J., “MEMS and piezo actuator based Fabry-Perot interferometer technologies and applications at VTT,” Proc. SPIE 7680, 76800U (2010).

 
[3] Rissanen, A., Broas, M., Hokka, J., Mattila, T.; Antila, J., Laamanen, M., Saari, H., ”Robustness and reliability of MOEMS for miniature spectrometers,” Proc. SPIE 8614, 861409 (2013).

 
[4] Antila, J., Tuohiniemi, M., Rissanen, A., Kantojärvi, U., Lahti, M., Viherkanto, K., Kaarre, M. and Malinen, J. MEMS- and MOEMS-Based Near-Infrared Spectrometers. Encyclopedia of Analytical Chemistry. 1–36. (2014).

 
[5] Blomberg, M., Kattelus, H., Miranto, A., “Electrically tunable surface micromachined Fabry-Perot interferometer for visible light”, Sen. Act. A, Vol. 162 ( 2), 184 – 188, (2010).

 
[6] Rissanen, A., Akujärvi, A., Antila, J., Blomberg, M., Saari, H., “MOEMS miniature spectrometers using tunable Fabry- Perot interferometers,” J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 11(2), 023003/1 – 6 (2012).

 
[7] Antila, J., Kantojärvi, U., Mannila, R., Rissanen, A., Näkki, I., Ollila, J., Saari, H., ” Spectral imaging device based on a tuneable MEMS Fabry-Perot interferometer,” Proc. SPIE 8374, 8374-15 (2012).

 
[8] Rissanen, A., Kantojärvi, U., Blomberg, M., Antila, J., Eränen, S., “Monolithically integrated microspectrometer-on-chip based on tunable visible light MEMS FPI”, Sens. Act., A, Vol. 182, 130 – 135, (2012). 

 
[9] Tuohiniemi, M., Blomberg, M., Akujärvi, A., Antila, J., Saari, H., “Optical transmission performance of a surface-micromachined Fabry-Pérot interferometer for thermal infrared” J. Micromech. Microeng. Vol. 22(11), 115004, (2012).

 
[10] Tuohiniemi, M., Näsilä, A., Mäkynen, J., “Characterization of the tuning performance of a micro-machined Fabry-Pérot interferometer for thermal infrared”, J. Micromech. Microeng. Vol. 23 (7), 075011, (2013). 

 
[11] Rissanen A., Mannila, R., Tuohiniemi M., Akujärvi, A., Antila, J., ”Tunable MOEMS Fabry-Perot interferometer for miniaturized spectral sensing in near-infrared ”, Proc. SPIE 8977, 89770X (2014).

 
[12] Mannila R., Tuohiniemi , M., Mäkynen, J., Näkki, I., Antila, J., ”Hydrocarbon gas detection with microelectromechanical Fabry-Perot interferometer ”, Proc. SPIE 8726, 872608 (2013).

 
[13] Mäkynen , J., Tuohiniemi, M., Näsilä, A., Mannila, R., Antila, J., ”MEMS Fabry-Perot interferometer-based spectrometer demonstrator for 7.5 μm to 9.5 μm wavelength range ”, Proc. SPIE 8977, 89770U (2014).

 
[14] Kantojärvi, U.,  Varpula, A., Antila, T., Holmlund, C., Mäkynen, J., Näsilä, A., Mannila, R.,  Rissanen, A., Antila, J., Disch, R., Waldmann, T., ”Compact large-aperture Fabry-Perot interferometer modules for gas spectroscopy at mid-IR”, Proc. SPIE. 8992, 89920C. (2014).

 
[15] Saari, H., Pölönen, I.,  Salo, H.,  Honkavaara, E.,  Hakala, T., ”Miniaturized hyperspectral imager calibration and UAV flight campaigns ”, Proc. SPIE 8889, 88891O (2013).

 
[16] Pölönen, I., Saari, H., Kaivosoja, J.,  Honkavaara, E., Pesonen, L., ”Hyperspectral imaging based biomass and nitrogen content estimations from light-weight UAV ”, Proc. SPIE 8887, 88870J (2013).

 
[17] Mannila, R., Näsilä, A., Viherkanto, K.,  Holmlund, C., Näkki, I., ”Spectral imager based on Fabry-Perot interferometer for Aalto-1 nanosatellite ”, Proc. SPIE 8870, 887002 (2013).

 
[18] Kuula, J., Pölönen, I., Puupponen, H.-H., Selander, T.,  Reinikainen, T., ”Using VIS/NIR and IR spectral cameras for detecting and separating crime scene details”, Proc. SPIE 8359, 83590P (2012).

 
[19] Kaarre, M., Kivi, S., Panouillot, P.-E., Saari, H., Mäkynen, J.,  Sorri, I.,  Juuti, M.,  AIP Conf. Proc., Vol. 1537, 231 – 237 (2013).

 
[20] Saari H., Neittaanmäki-Perttu, N., Pölönen, I., ” VTT’s hyperspectral camera shows promising results in detection of skin field cancerization”, VTT press release 26.2.2014, http://www.vtt.fi/news/2014/26022014_hyperspektrikamera.jsp?lang=en

 
[21] Glimtoft, M., Bååth, P., Östmark , H., Saari, H., Mäkynen, J., Näsilä, A., “Towards eye-safe standoff Raman imaging systems”, accepted paper, SPIE Proceedings 9072, (2014).
 


 

 

 

Impulssihttp://www.vtt.fi/ImpulssiImpulssi
Impulssi 2/2017http://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Impulssi-2-2017.aspxImpulssi 2/2017
Puhtaampaa kaupunkiliikennettä puupohjaisella dieselillähttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Puhtaampaa-kaupunkiliikennetta-puupohjaisella-dieselilla.aspxPuhtaampaa kaupunkiliikennettä puupohjaisella dieselillä
Tulevaisuuden arkkitehdit asiallahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Tulevaisuuden-arkkitehdit-asialla.aspxTulevaisuuden arkkitehdit asialla
Uusia ratkaisuja kaupunkitulvien ehkäisyynhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Uusia-ratkaisuja-kaupunkitulvien-ehkaisyyn.aspxUusia ratkaisuja kaupunkitulvien ehkäisyyn
Turbiinisiivillä miljoonien säästöihinhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Turbiinisiivet-saastavat-miljoonia.aspxTurbiinisiivillä miljoonien säästöihin
Brasilia viitoittaa bioenergian tietähttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Brasilia-viitoittaa-bioenergian-tieta.aspxBrasilia viitoittaa bioenergian tietä
Syntymäpäivälahja meiltä itsellemmehttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Syntymapaivalahja-meilta-itsellemme.aspxSyntymäpäivälahja meiltä itsellemme
Panimolaboratorio – Paremman oluen puolestahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Panimolaboratorio-paremman-oluen-puolesta.aspxPanimolaboratorio – Paremman oluen puolesta
Automaatio antaa paketille siivethttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Automaatio-antaa-paketille-siivet.aspxAutomaatio antaa paketille siivet
Tulevaisuuden sensorihttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Tulevaisuuden-sensori.aspxTulevaisuuden sensori
Robottiautojen esiinmarssihttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Robottiautojen-esiinmarssi.aspxRobottiautojen esiinmarssi
Painettu teknologia kutsuu muotoilijoitahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Painettu-teknologia-kutsuu-muotoilijoita.aspxPainettu teknologia kutsuu muotoilijoita
Ledikalvot taipuvat kansanlampusta lentokoneisiinhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Ledikalvot-taipuvat-kansanlampusta-lentokoneisiin.aspxLedikalvot taipuvat kansanlampusta lentokoneisiin
Optinen isotooppispektroskopia: Yhä tarkempia tietoja tutkimuskohteestahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Optinen-isotooppispektroskopia-kehittynyt-merkittavasti.aspxOptinen isotooppispektroskopia: Yhä tarkempia tietoja tutkimuskohteesta
Hienokemia tarvitsee biopohjaisia aromaattejahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Hienokemia-tarvitsee-biopohjaisia-aromaatteja.aspxHienokemia tarvitsee biopohjaisia aromaatteja
Sopiiko elinkaariarviointi poliittisen päätöksenteon tueksi?http://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Sopiiko-elinkaariarviointi-poliittisen-päätöksenteon-tueksi.aspxSopiiko elinkaariarviointi poliittisen päätöksenteon tueksi?
Digitalisaatio tasoittaa erojahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Digitalisaatio-tasoittaa-eroja.aspxDigitalisaatio tasoittaa eroja
Puolustusvoimat hakee etumatkaahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Puolustusvoimat-hakee-etumatkaa.aspxPuolustusvoimat hakee etumatkaa
Tuottoa sijoituksillehttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Tuottoa-sijoituksille.aspxTuottoa sijoituksille
VTT:n spinno GrainSense tuo laboratorion maanviljelijän kouraanhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/VTTn_spinno_GrainSense_tuo_laboratorion-maanviljelijan-kouraan.aspxVTT:n spinno GrainSense tuo laboratorion maanviljelijän kouraan
Teollinen 3D-tulostus nousukiidossahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Teollinen-3D-tulostus-nousukiidossa.aspxTeollinen 3D-tulostus nousukiidossa
Asuinmukavuus ja energiatehokkuus mahtuvat samaan kotiinhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Asuinmukavuus-ja-energiatehokkuus-mahtuvat-samaan-kotiin.aspxAsuinmukavuus ja energiatehokkuus mahtuvat samaan kotiin
Ketterä ja nopea Ponssehttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Kettera-ja-nopea-Ponsse.aspxKetterä ja nopea Ponsse
Energiavarastojen kysyntä kasvaa vauhdillahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Energiavarastojen-kysynta-kasvaa-vauhdilla.aspxEnergiavarastojen kysyntä kasvaa vauhdilla
Puun voimalla biotalouteenhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Puun-voimalla-biotalouteen.aspxPuun voimalla biotalouteen
Mitä kuuluu Australiaan?http://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Mita-kuuluu-Australiaan.aspxMitä kuuluu Australiaan?
Voiko ympäristöväittämiin luottaa?http://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Voiko-ymparistovaittamiin-luottaa.aspxVoiko ympäristöväittämiin luottaa?
Uusi agenda tehostaa tutkimusinfran käyttöähttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Uusi-agenda-tehostaa-tutkimusinfran-käyttöä.aspxUusi agenda tehostaa tutkimusinfran käyttöä
Wärtsilän Jaakko Eskola: Menestymme vain innovoinnilla ja uusiutumisellahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Wärtsilän-Jaakko-Eskolaä-Menestymme-vain-innovoinnilla-ja-uusiutumisella.aspxWärtsilän Jaakko Eskola: Menestymme vain innovoinnilla ja uusiutumisella
Pilottitehtaat jauhavat ideoista liiketoimintaahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Pilottitehtaat-jauhavat-ideoista-liiketoimintaa.aspxPilottitehtaat jauhavat ideoista liiketoimintaa
Suomalaispyörät pyörivät myös tulevaisuudessahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Suomalaispyörät-pyörivät-myös-tulevaisuudessa.aspxSuomalaispyörät pyörivät myös tulevaisuudessa
Tulevaisuuden uudet selluloosatuotteet ja niiden sovelluksethttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Tulevaisuuden-uudet-selluloosatuotteet-ja-niiden-sovellukset.aspxTulevaisuuden uudet selluloosatuotteet ja niiden sovellukset
Hybridimenetelmillä uusia ratkaisuja metallien kierrätykseenhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/hybridimenetelmilla-uusia-ratkaisuja-metallien-kierratykseen.aspxHybridimenetelmillä uusia ratkaisuja metallien kierrätykseen
Elinkeinoministeri Olli Rehn: uudistumisen kautta nousuunhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Elinkeinoministeri-Olli-Rehn-uudistumisen-kautta-nousuun.aspxElinkeinoministeri Olli Rehn: uudistumisen kautta nousuun
Suomella osaaminen globaaleihin ongelmiinhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Suomella-osaaminen-globaaleihin-ongelmiin.aspxSuomella osaaminen globaaleihin ongelmiin
Ihmisten jäljillähttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Ihmisten-jaljilla.aspxIhmisten jäljillä
Laivateollisuuden digitalisoituminen edellyttää huippututkimustahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Laivateollisuuden-digitalisoituminen-edellyttää-huippututkimusta.aspxLaivateollisuuden digitalisoituminen edellyttää huippututkimusta
VTT hyödyntää Fabry-Perot interferometriteknologiaahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Fabry-Perot-interferometriteknologia.aspxVTT hyödyntää Fabry-Perot interferometriteknologiaa
Vanha ydintutkimusreaktori poistetaan käytöstä – uusi ydinturvallisuustalo rakenteillahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/FiR-1-tutkimusreaktori-poistetaan-kaytosta.aspxVanha ydintutkimusreaktori poistetaan käytöstä – uusi ydinturvallisuustalo rakenteilla
Kovaakin kovempi vientituotehttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Kovaakin-kovempi-vientituote.aspxKovaakin kovempi vientituote
Digikärjellä kaivokseenhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Digikärjella-kaivokseen.aspxDigikärjellä kaivokseen
Salofa tuo pikatestit terveyden ja ympäristön seurantaanhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Salofa-tuo-pikatestit-terveyden-ja-ympariston-seurantaan.aspxSalofa tuo pikatestit terveyden ja ympäristön seurantaan
Kaura on kysyttyä tavaraa maailmallahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Kaura-on-kysyttya-tavaraa-maailmalla.aspxKaura on kysyttyä tavaraa maailmalla
Suomi on hyvä investointihttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Suomi-on-hyva-investointi.aspxSuomi on hyvä investointi
Kyberturvallisuus vaatii muutakin kuin teknologiaosaamistahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Kyberturvallisuus-vaatii-muutakin-kuin-teknologiaosaamista.aspxKyberturvallisuus vaatii muutakin kuin teknologiaosaamista
Onko tulevaisuudessa jätevettä?http://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Onko-tulevaisuudessa-jatevetta.aspxOnko tulevaisuudessa jätevettä?
Tulevaisuuden 5G-verkko etenee koekäyttöön Oulussahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Tulevaisuuden-5G-verkko-etenee-koekayttoon-oulussa.aspxTulevaisuuden 5G-verkko etenee koekäyttöön Oulussa
Infinited Fiber tuo muutoksen tekstiiliteollisuuteenhttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Infinited-Fiber-tuo-muutoksen-tekstiiliteollisuuteen.aspxInfinited Fiber tuo muutoksen tekstiiliteollisuuteen
Puukuitu haastaa muovin kauppakasseissahttp://www.vtt.fi/Impulssi/Pages/Puukuitu-haastaa-muovin-kauppakasseissa.aspxPuukuitu haastaa muovin kauppakasseissa