Tulosta Tulosta Lähetä linkki Bookmark and Share

Väitös: painomuottien valistaminen step and stamp nanoimprint -menetelmällä

05.04.2011


Nanoimprint-litografia on noussut varteenotettavaksi ehdokkaaksi nanorakenteiden kuvioinnissa. Tähän asti käytetty optinen litografia on toistaiseksi kyennyt vastaamaan haasteeseen viivanleveyden pienentyessä. Menetelmän kehittäminen johtaa yhä kalliimpiin ja teknisesti mutkikkaampiin ratkaisuihin. Pienempiin viivanleveyksiin on mahdollista käyttää esim. elektronisuihkulitografiaa, mutta menetelmän haittapuolena on massatuotannon esteeksi nouseva hitaus, mikä nostaa kustannuksia.

Nanoimprint-litografian pullonkaulana on ollut painomuottien eli leimasinten valmistus, joka tapahtuu elektronisuihkulitografialla. Pinta-alaltaan suurien muottien valmistus on hidasta ja tulee erittäin kalliiksi. Vaihtoehtoisesti voidaan valmistaa pieni muotti, jota toistamalla voidaan kuvioida laajoja alueita. Tällä menetelmällä voidaan tehdä suuri määrä kopioita alkuperäisestä muotista tai valmistaa suuri kokonaisuus yhdistelemällä erityyppisiä pieniä muotteja.

VTT:n tutkijaTomi Haataisen väitöskirjatyön aiheena on painomuottien valmistaminen step and stamp nanoimprint -litografiamenetelmällä. Työn kokeellinen osa käsittää prosessiparametrien optimoinnin laajojen alueiden kuviointiin sekä muottien valmistuksen ja kopioinnin termoplastiseen polymeeriin.

Kuviointi tehtiin käyttämällä piistä valmistettua muottia eli leimasinta. Leimasimet valmistettiin pääosin piistä käyttämällä UV- tai elektronisuihkulitografiaa sekä kuivaetsausta. Menetelmää sovellettiin piipainomuottien kopiointiin, valmistettiin nikkelinen taipuisa painomuotti rullapainomenetelmää varten sekä läpinäkyvä polymeeripainomuotti UV-imprint-litografiaa varten.

Tomi Haataisen väitöstyö ”Stamp fabrication by step and stamp nanoimprinting” tarkistettiin Aalto-yliopistossa 1.4.2011.

Julkaisu verkossa


Lisätietoja

Tomi Haatainen
Tutkija
020 722 4785

 

 

Lisätietoja

Tomi Haatainen
Tutkija
020 722 4785