MEMS – Mikrosysteemit

 

Edullinen ratkaisu yrityksille, jotka haluavat välttää MEMS-laitteiden kehittämiseen ja tuottamiseen tarvittavia suuria investointeja.

Yksi VTT:n tutkimuksen keihäänkärjistä ovat sen innovatiiviset MEMS-anturit. Me suunnittelemme, mallinnamme, simuloimme, valmistamme sekä karakterisoimme piipohjaisia komponentteja ja niiden lukuelektroniikkaa keskittyen pinta- ja SOI MEMS -tekniikoihin. Teemme myös näihin valmistusteknologioihin liittyvää prosessikehitystä.  

Olemme kehittäneet yhdessä Vaisalan kanssa mikromekaanisen, sähköisesti säädettävän Fabry-Perot-interferometrin (FPI), jota käytetään Vaisalan CARBOCAP® -hiilidioksidianturissa. Tämä teknologia on mahdollistanut luotettavan ja kustannustehokkaan kaasumittauksen jo yli 15 vuoden ajan monilla eri teollisuudenaloilla ja monissa eri käyttökohteissa rakennusautomaatiosta ja turvallisuudesta biotieteisiin ja ekologiseen tutkimukseen.

MEMS-piiresonaattorit ja Fabry Perot -suodattimet ovat lippulaivatuotteitamme

MEMS-komponenttien avulla on mahdollista luoda uusia miniatyrisoituja mittauslaitteita, joiden suorituskyky ylittää nykyiset ratkaisut ja mahdollistaa samalla pienen koon, alhaisen tehonkulutuksen ja alhaisen yksikköhinnan. Laitteiden pienemmän koon ja monipuolisuuden ansiosta niitä voidaan hyödyntää aivan uudenlaisissa sovelluksissa.

Olemme suunnitelleet ja valmistaneet MEMS-teknologiaa hyödyntäviä piiresonaattoreita, magnetometrejä, erityyppisiä paineantureita, monoliittisia MEMS:n ja CMOS:n komponentteja, kapasitiivisia mikrofoneja, ultraäänilähettimiä ja -vastaanottimia, jännitereferenssejä, akustisen emission antureita, kiihtyvyysantureita, elektrostaattisesti säädettäviä peilejä, säädettäviin Fabry-Perot-suodattimiin perustuvia NDIR-kaasuantureita, termoelementtejä ja termisiä emittereitä.

VTT:n MEMS-piiresonaattorit tekevät vahvasti tuloaan ajastin- ja taajuussäätömarkkinoille sekä huippuluokan kvartsikiteitä hyödyntävien laitteiden markkinoille. VTT käyttää resonaattoreiden lämpötilakompensoinnissa vaihtoehtoista lähestymistapaa: piin elastisia ominaisuuksia voidaan räätälöidä optimoidulla fosforiseostuksella. Tämän on osoitettu saavan aikaan kvartsin tasoisen lämpöstabiiliuden.

MEMS-antureita puettaviin laitteisiin, älypuhelimiin ja teollisuuden prosessien analysointiin

Älylaitteita syntyy yhdistämällä anturitieto älykkääseen ohjelmistoon. Esineiden ja asioiden Internetin (IoT) käyttösovelluksissa tällaiset laitteet tarjoavat korvaamattoman rajapinnan virtuaalisen ja fyysisen maailman välille.

Järjestelmälähtöinen ratkaisumalli vaatii integroitua suunnittelua ja valmistusta, joka perustuu erilaisten teknologioiden, komponenttien ja materiaalien yhdistämiseen yhdeksi järjestelmäksi. VTT tarjoaa asiakkaidemme tarpeiden mukaan räätälöityjä täyden mittakaavan järjestelmäratkaisuja.

Asiakaspalvelu
Sähköpostiinfo@vtt.fi
Puhelin020 722 7070
Avoinna arkisin klo 9.00 - 11.00 ja 12.00 - 15.00

  Puhdastila piipohjaisille mikrojärjestelmille

VTT:llä on käytössään maailmanluokan puhdastila, Micronova, joka on täysin varusteltu pii-, lasi- ja ohutkalvopohjaisten mikrojärjestelmien valmistamiseen. 

Lue lisää »