Puhdastila piipohjaisille mikrojärjestelmille - Micronova

 

VTT:llä on käytössään maailmanluokan puhdastila, Micronova, Espoossa. Tämä 2 600 m² suuruinen tutkimus- ja kehityskäyttöön tarkoitettu puhdastila on täysin varustettu pii-, lasi- ja ohutkalvopohjaisten mikrojärjestelmien valmistamiseen. Puhdastiloissa sekä niiden sateellittilaboratorioissa kehitetään kaikentyyppisiä mikrojärjestelmiä asiakkaiden tarpeiden mukaisesti modulaarisen optiikan menetelmin hyödyntäen passiivisten laitteiden heterogeenistä integrointitekniikkaa, monipuolisia ja edullisia painatustekniikoita, laaja-alaista biotieteiden osaamista sekä materiaalien vuorovaikutuksen valvontaa kvanttitasolla.

VTT tarjoaa uusien prosessien ja komponenttien tutkimus- ja kehityspalvelua, mikä voidaan yhdistää saumattomasti asiakkaille tarjottavaan tuotantopalveluun, mukaan lukien prosessivälineistön ja puhdastilan vuokrat. VTT:n toiminnassa ainutlaatuista on se, että tutkimuslaitos hallitsee koko uuden tuotteen kehitysketjun perustutkimuksesta ja prosessien kehittämisestä aina prototypointiin ja jopa pienimuotoiseen tuotantoon asti. Substraatteja voidaan valmistaa yksittäisistä siruista aina 200 mm kiekkoihin asti.

VTT:n Micronova-puhdastila on sertifioitu ISO 9001:2008 standardin mukaisesti valmistus-, pientuotanto- ja laitoskunnossapitotoimintaa varten. VTT:n Puhdastilatoiminnan pääasiallisia osaamisalueita ovat tämän edistyksellisen tilan kunnossapito ja turvallisuus, prosessi- ja mittauslaitteistojen korjaus ja asentaminen sekä piin prosessointi kyseiseen toimintaan erikoistuneen henkilöstön toimesta.