Tulosta Tulosta Lähetä linkki Bookmark and Share

Nanoteknologiat ja mikrosysteemit

Tyhjiösuljettuja ultraohuita MEMS-komponentteja

Piikomponentteja ja mikrosysteemejä (MEMS) kehitetään tuotantoon hyvin soveltuvalla valmistuslinjalla. Komponentteja kapseloidaan kiekkotason liitostekniikoilla tai erilliskomponentteina toiminnallisiksi mikrojärjestelmiksi. Näiden lisäksi kehitetään myös keraami- ja polymeeripohjaisia integrointiteknologioita.

VTT on suunnitellut ja toteuttanut monenlaisia antureita ja aktuaattoreita sekä fluidistisia, optisia ja RF-mikrojärjestelmiä. Sovellukset liittyvät esimerkiksi ympäristömittauksiin, röntgenilmaisuun, ajastuspiireihin, tietoliikenteeseen tai biomonitorointiin.

Nanoelektroniikan teknologiat tuovat lisäarvoa mikrojärjestelmille. Atomikerroskasvatus (ALD), nanomuokkaus (nanoimprinting) ja elektronisuihkulitografia ovat käytössä uusien materiaalien ja nanojärjestelmien kehitystyössä. Lisääntyvä tarve sulautettuihin aistiviin mikrojärjestelmiin edellyttää monipuolista integrointiteknologioiden kehitystä sekä halpoihin kuluttajasovelluksiin että vaativiin olosuhteisiin.

VTT:llä on kaksi hyvinvarustettua puhdastilaa nanoelektroniikan komponenttien ja mikrojärjestelmien kehittämiseen: Micronova Espoossa ja Mikromoduulikeskus Oulussa. Micronovassa valmistetaan mikro- ja nanoelektroniikan komponentteja pii- tai lasikiekoille, ja Mikromoduulikeskuksessa kehitetään pakkaustekniikkaa ja systeemi-integrointia.

Harjannevalokanavan signaali kulkee kiteisen piidioksidiopaalin läpi.


Lisätietoja

Philippe Monnoyer
Tutkimusalueen päällikkö
020 722 4395

Juha Palve
Asiakasjohtaja
020 722 2084

Harri Kopola
Tutkimusjohtaja, Tietointensiiviset tuotteet ja palvelut
020 722 2369

Osaamiset

Lisätietoja

Philippe Monnoyer
Tutkimusalueen päällikkö
020 722 4395

Juha Palve
Asiakasjohtaja
020 722 2084

Harri Kopola
Tutkimusjohtaja, Tietointensiiviset tuotteet ja palvelut
020 722 2369

Katso myös