Tulosta Tulosta Lähetä linkki Bookmark and Share

Tunneliliitoksia ja suprajohtavia komponentteja äärimmäistä suorituskykyä vaativiin kryogeenisiin piireihin ja ilmaisimiin

VTT on toimittanut 30 vuoden ajan ratkaisuja ja palveluita suprajohtavia ja tunneliliitoksia hyödyntävien laitteiden suunniteluun ja valmistukseen. Autamme asiakkaita myös pientuotannon järjestämisessä.

Kolmikerroksiset Josephson-liitokset

Kolmikerroksinen niobium-aluminium/alumiinioksidi-niobium Nb/Al-AlOx/Nb -rakenne on tehokas teknologia Josephson-liitosta hyödyntäville laitteille ja piireille. Laitteiden käyttölämpötila voi vaihdella neljästä Kelvinistä alle nollaan, ja suprajohtavia kerroksia voi olla jopa kolme.

Etuja ovat:

  • kiekkotason prosessi
  • sovelluskohtainen prosessinkulku
  • kokemusta suunnittelusta ja valmistuksesta
  • omat testausresurssit
  • suspendoidut rakenteet.

Sovellusalueita:

  • DC- ja AC-SQUID-sovellukset
  • Josephson-jännitestandardit
  • vahvistimia ilmaisimien luentaan
  • röntgenilmaisimet.

Al-Al2O3-pohjaiset tunneliliitokset

Tunneliliitosteknologia, joka hyödyntää alumiinielektrodia (Al) ja alumiinioksidisulkeumaa (Al2O3), soveltuu erityisen hyvin laitteisiin, joiden liitoksen läpinäkyvyys on matala ja/tai korkea. Se tukee sekä monimutkaisia laitteita ja integraatioita että passiivisten elementtien lisäämistä.

Etuja ovat:

  • sovelluskohtainen prosessinkulku
  • kiekkotason prosessi
  • UV- ja E-sädeominaisuudet
  • oma laitekarakterisointi
  • tuotannon skaalattavuus.

Sovellusalue-esimerkkejä:

SQUID

phase-kvanttibitti

transmon-kvanttibitti

CBT

bolometrit ja jäähdyttimet.

Suspendoidut tunneliliitokset ja suprajohtavat sillat bolometri-sovelluksissa

Suspendoidut NbN-sillat ja kolmikerroksiset Nb/Al-AlOx/Nb-tunneliliitokset soveltuvat hyvin THz-säteilyn ilmaisemiseen bolometrilla.

Etuja ovat:

  • sovelluskohtainen prosessinkulku
  • kiekkotason prosessi
  • UV- ja E-sädeominaisuudet
  • oma laitekarakterisointi
  • tuotannon skaalattavuus
  • laajat, kryomodulaatioon soveltuvat ilmaisinryhmät
  • asiakkaan vaatimuksia vastaava joustava mikrovalmistusprosessi
  • tutkimus, tuotekehitys ja pientuotanto
  • suunnittelu, valmistus ja testaus
  • kokemusta integroitujen kryogeenisten järjestelmien rakentamisesta.