Palossa vaurioitunut VTT:n puhdastila jälleen käyttökunnossa

VTT:n puhdastila on jälleen käyttökunnossa helmikuisen tulipalon jälkeen. Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilan uudelleenrakentamistyöt ovat edenneet nopeassa aikataulussa, ja puhdastilassa on jälleen hyvät edellytykset mikro- ja nanoelektroniikan huippututkimukselle.

Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt on pääaosin tehty, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan ennakoidaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.

Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää CMOS-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja MEMS-komponenteille sekä erikoislaitteita mm. piin ja piioksidin syväetsaukseen. Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.

Asiakkaiden toimeksiannot pyrittiin toteuttamaan

Asiakkaiden toimeksiantojen ja tutkimusprojektien tarpeita on pyritty täyttämään siirtämällä kunnostettuja prosessilaitteita VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä olevaan uudempaan puhdastilaan Micronovassa sekä käyttämällä kotimaisten ja kansainvälisten yhteistyökumppaneiden alihankintapalveluja.

Siirtyminen 150 mm:n kiekkokokoon parantaa yhteistyömahdollisuuksia

Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on pääsääntöisesti hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä 100 mm:n kiekkokoosta 150 mm:n kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. Tämä parantaa edelleen VTT:n yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.

Korjauskustannukset 13,5 miljoonaa euroa

Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot. Tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat kuitenkin muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.

Micronova

Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian johtava osaamiskeskittymä. Espoon Otaniemessä sijaitsevassa Micronovassa työskentelee yli 300 tutkijaa, ja siellä on pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.

 

Lisätietoja
Katso myös

VTT on puolueeton asiantuntijaorganisaatio, joka kehittää uutta teknologiaa, tuottaa tutkimus-, kehitys-, testaus- ja tietopalveluita sekä kotimaisille että kansainvälisille asiakkailleen, yrityksille ja julkiselle sektorille. Osaamisellaan ja uusilla innovaatioilla VTT pyrkii lisäämään omistajansa ja asiakkaidensa teknistaloudellista kilpailukykyä ja yhteiskunnan hyvinvointia.