Tulosta Tulosta Lähetä linkki Bookmark and Share

Palossa vaurioitunut VTT:n puhdastila jälleen käyttökunnossa

23.10.2006


VTT:n puhdastila on jälleen käyttökunnossa helmikuisen tulipalon jälkeen. Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilan uudelleenrakentamistyöt ovat edenneet nopeassa aikataulussa, ja puhdastilassa ovat jälleen hyvät edellytykset mikroelektroniikan huippututkimukselle. Tutkimusta voidaan jatkaa jo lähiviikkojen aikana.

Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt ovat käynnissä, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.

Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää CMOS-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja MEMS-komponenteille sekä erikoislaitteita mm. piin ja piioksidin syväetsaukseen. Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.

Asiakkaiden toimeksiantojen ja tutkimusprojektien tarpeita on pyritty täyttämään siirtämällä kunnostettuja prosessilaitteita VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä olevaan uudempaan puhdastilaan Micronovassa sekä käyttämällä kotimaisten ja kansainvälisten yhteistyökumppaneiden alihankintapalveluja.

Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä 100 mm:n kiekkokoosta 150 mm:n kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. Tämä parantaa edelleen VTT:n yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.

Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot, sillä tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon. Senaatti-kiinteistöt on vastannut purku-, saneeraus- ja rakennustöistä. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat kuitenkin muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.

Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian johtava osaamiskeskittymä. Espoon Otaniemessä sijaitsevassa Micronovassa työskentelee yli 300 tutkijaa, ja siellä on pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.


Kuva 1
Puhdastilassa ilma on yli miljoona kertaa puhtaampaa kuin tavallisissa konttoritiloissa. (Kuva: VTT)

Kuva 2
Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä. (Kuva: Senaatti-kiinteistöt)

 

 

Lisätietoja

Jussi Tuovinen
Teknologiajohtaja
puh. 020 722 6508


Ulrika Gyllenberg
Puhdastilapäällikkö
puh. 020 722 6664